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激光叁维表面轮廓仪是一种用于表面结构测量和表面形貌分析的测量计量设备。它不仅可以用于科学研究，也可以用于工业产物的检测。

　　1、叁维表面结构：粗糙度、波纹度、表面结构、缺陷分析、晶粒分析等。

　　2、二维图像分析：距离、半径、斜率、网格、等高线等。

　　3、表面界面测量：透明表面形貌、膜厚、透明膜下表面。

　　4、薄膜和厚膜的台阶高度测量。

　　5、划痕形态、摩擦磨损深度、宽度和体积的定量测量。

　　6、微电子表面分析和MEMS表征。

　　激光叁维表面轮廓仪的主要特点：

　　高精度纵向分辨率：0.1nm（接触式）；2nm（光学非接触式）对周围环境和光源的适应性强，无机械过滤，垂直测量范围宽，光学头和接触式多种选择，纵向扫描范围300-3900μ尘。图像“拼接"技术可以在一张图像中呈现任何大表面。适用于几乎所有表面，垂直台阶，纵横比，凸起，孔洞，脆性材料，软材料，柔性材料表面，尖锐，坚硬，磨损的表面，适应性强，白色光源，人性化安全设计，长寿命白色led免维护，可用于各种环境甚至工业生产环境的实验室。

　　激光叁维表面轮廓仪的扫描范围从10μ尘齿10μ尘到500μ尘齿500μ尘。样品台扫描采用高级光学参考平台，可以使远距离扫描范围达到50mm。在扫描过程中，可以直接结合彩色光学相机对样品进行观察。针尖扫描采用双光学传感器，具有宽测量动态范围（zui高达500）μ尘）和亚纳米垂直分辨率（zui小0.1nm），软件设置恒定微力接触（0.1至100[Mg])。